技术简介： 本发明涉及一种以氧化铟-氧化锡混合粉为原料的高世代液晶面板用ITO溅射靶的制造方法，尤其是一种含In4Sn3O12相ITO溅射靶的制造方法。其特点是，包括如下步骤：(1)将经过热处理的氧化铟与氧化锡…… 查看详细 >
技术简介： 本发明涉及一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法，其特点是化学式为：ZnxAlyMz，其中Al为第一掺杂剂，第二掺杂剂M为选自W、Mo、Nb、Zr、Ce和V中至少一种，其中以原子百分比计91.5＜x＜98.9；1…… 查看详细 >
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