单通/双通多孔阳极氧化铝（AAO）膜

所属分类：新型材料产业

所属单位：山东农业大学

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成果简介

多孔阳极氧化铝AAO（Anodic Aluminum Oxide）膜，它的孔为单通或双通AAO结构，孔径范围介于10 nm-500 nm之间，膜厚仅为几微米到几十微米，广泛应用于纳米点阵列、纳米线阵列等的制备以及衬底表面图案化处理等。多孔阳极氧化铝AAO膜孔径均一，孔排列短程有序，氧化铝的材质使其在可见光波段是透明的，而且是电绝缘的。相对于其它图形化纳米结构制备手段（如光刻、电子束曝光、聚焦离子刻蚀），多孔阳极氧化铝AAO模板的独特优势在于可以轻易地获得平方厘米的范围内，低至纳米级的微观结构，相对于电子束光刻、聚焦离子束刻蚀等方法，其成本低廉。

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