一种区分4H-碳化硅表面的方法

所属分类：新型材料产业

所属单位：兰州大学

联系人：-

联系方式：0951-6087161/5020588

所在地：

成果简介

本申请涉及一种区分4H‑碳化硅表面的方法，所述方法首先对需要辨别的4H‑碳化硅(4H‑SiC)样品的两个表面分别标记为A面和B面；然后将4H‑SiC样品进行以KOH为主腐蚀剂的湿法腐蚀过程；再对腐蚀后4H‑SiC样品进行盐酸酸洗；最后用光学显微镜观察4H‑SiC的AB面，根据其各向同性或各向异性的腐蚀行为来确定该表面自由能的大小，从而判定出具有各向异性腐蚀行为的高表面自由能的表面为4H‑SiC样品的Si面，而具有各向同性腐蚀行为的低表面自由能的表面为4H‑SiC样品的C面。本方法对于检测样品的要求低，且无论待测样品是否完好，是否具有缺陷，腐蚀过程中的腐蚀温度和腐蚀时间均较短，结果均可靠；而且采用光学显微镜进行观测，操作简单，成本低。

其他成果推荐

更多>

一种生物质脱硫脱硝活性炭的活化处理方法

所属单位：宁夏尼西活性炭有限公司

一种气相白炭黑生产方法

所属单位：宁夏福泰材料科技有限公司

一种蒽醌蓝固溶体颜料及其制备方法和应用

所属单位：宁夏彩妍科技有限公司

一种从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法

所属单位：国电投宁夏能源铝业科技工程有限公司

基于全波形反演技术的精准三维地质模型研究

所属单位：陕西小保当矿业有限公司

基于3D打印的液压作动类零件设计制造技术

所属单位：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所