适用于磁控电子溅射的硅基靶材制备工艺技术的研究

所属分类：新型材料产业

所属单位：宁夏高创特能源科技有限公司

联系人：-

联系方式：0951-6087161 /5020588

所在地：

成果简介

项目针对硅靶材体系基础材料理论和硅靶材生产工艺技术开展研究，符合国家和地方电子信息产业发展政策。项目形成了硅靶材基础材料胚体制备电阻匹配理论体系，建立了电阻率匹配计算模型，能有效提高生产准备效率，保障产品电性能可靠性性；研究出烧结法制备硅锗合金靶材的新工艺，制备出硅锗复合新型靶材；开发出复杂形状和大尺寸薄壁管状硅基靶材精密加工技术，试制出长度800mm,壁厚小于6mm 薄壁管状硅靶材，产品满足市场使用要求。项目研究形成的平面带孔硅靶加工工艺、大尺寸薄壁管状硅靶精密加工技术、硅锗复合靶加工工艺，具有推广前景；建设了硅靶材加工生产线，具备扩产批量生产能力。

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