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1、钽酸锂、铌酸锂粉体的制作工艺,主要是控制粉体的电阻率、粒度,制备出符合靶材要求的电阻率及粒度的粉体。适合工业化生产的技术和装备 2、制备钽酸锂和铌酸锂多晶的靶材,靶材电阻率及粒度符合使用要求,适合工业化生产的技术和装备。
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