1.技术需求及技术痛点概述:多晶圆硅芯炉的设计与研发新设计研发的圆硅芯拉制炉每个环节都需要严格把控,包括热场各部件以及各部件匹配的尺寸、熔料时液口距的设定值以及导流筒进入加热器的距离、晶升/降装置的设计、埚升/降装置的设计、多齿轮装置的设计以及齿轮与籽晶头的配合使用、水冷套对热场温度梯度的影响。以此来满足对圆硅芯拉制的要求,提高了我们产品多元化,也为企业在后期扩产或者计划投资方面拥有更多选择。圆硅芯炉匹配热场的工艺参数设计通过圆硅芯炉的研发设计,匹配此炉台的热场设计,需要研发设计一套完整的圆硅芯的拉晶工艺参数,主要包括熔料工艺;调温、引晶工艺;放肩工艺;转肩等径工艺,满足拉出的圆硅芯直径波动小,表面光滑,平均拉速高,成品率高,质量高等优势。
2.意向合作单位:需要相关设备制造厂家与我司生产和设备人员密切配合,并对设备可投入使用后的运行状态,过程监控以及具体的操作过程进行管理及监控,对拉制出的硅芯及时质检,从而保证设备在维稳状态下运行以及拉制出的圆硅芯是合格的。
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