功率集成电路用12英寸重掺砷单晶硅拉制关键技术研究

所属分类：新型材料产业

所属单位：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

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联系方式：0951-5064080

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需求内容

1.技术需求及技术痛点概述：功率集成电路（Power IC）是新能源汽车、智能电网、轨道交通等领域的核心元器件，其性能直接依赖衬底材料的电学特性。重掺砷单晶硅的制备面临以下瓶颈：一是热场控制难，拉晶过程中热场稳定性要求极高，现有设备难以满足工艺需求；二是掺杂均匀性差，高浓度砷掺杂易导致成分偏析，影响器件均一性；三是晶体缺陷率高，砷原子与硅晶格失配引发位错、层错等缺陷，降低成品率。寻求该相关替代技术。
2.意向合作单位：北方民族大学。

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