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连续单晶硅棒拉制的32吋半导体级石英坩埚生产技术

所属分类:新型材料产业

所属单位:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

联系人:

联系方式:0951-5064080、5028535

所在地:

需求内容

1.技术需求及技术痛点概述:石英坩埚是是半导体硅片生产过程中硅料熔融、晶体生长环节的最重要、且必不可少的耗材。石英坩埚行业受制于下游半导体应用产品技术发展快等因素,倒逼石英坩埚行业产品升级,大尺寸和高纯度成为半导体级石英坩埚的主要发展方向。当前主流半导体用石英坩埚拉晶为单次单棒,有效使用时间较短,对于下游使用成本较高,需要进一步延长石英坩埚使用时间,使得单只石英坩埚可进行大于等于两棒晶棒拉制。如何通过稳定的熔制工艺优势、成本控制优势达成32吋单只石英坩埚可两棒拉制的目标,提升公司市场占有率,是公司主要研发攻关方向。
2.意向合作单位:宁夏大学、北方民族大学。

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