1.技术需求及技术痛点概述:蓝宝石晶体加工过程中普遍存在应力应变、崩边、过研磨、过抛光等制造缺陷,导致产品质量波动大、成品率低、应用推广受限,有必要针对晶体制造加工生产线开发应力应变、表面层损伤厚度及研磨边界预警等原位检测仪:(1)设计开发基于白光劳厄衍射研究开发可移动在线晶体材料缺陷检测装置;(2)开发数据处理中心和软硬件设备设施;(3)在线检测装置的设计和调试,在加工生产线进行检测,实现对加工关键流程中的衬底片表面应变检测,指导优化流程和工艺,提升良品率,形成行业标准。
2.意向合作单位:区内外高校
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