1.技术需求及技术痛点概述：研究黑色AlN加热盘陶瓷组分设计及其对力学、热学、电学性能影响，AlN加热盘的热压烧结制备及结构与性能均匀性控制，以及AlN加热盘精密加工技术研究等，最终获得12英寸晶圆用黑色AlN加热盘陶瓷材料。
2.意向合作单位：西安交通大学。
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