1、应用于拉制单晶硅棒不易断线的内表透明层无微气泡石英坩埚的制备技术:坩埚透明层表层微气泡在硅单晶拉制过程中会膨胀破裂,导致表层石英融入硅料中,易引起单晶断线。尤其在拉晶R6、R7段后易断线。
2、如何在坩埚熔融工艺中控制表层微气泡含量或无微气泡是坩埚行业持续研究的方向:坩埚在拉制单晶过程中,存在一定概率出现坩埚鼓包或者坩埚塌边,导致拉晶易断线或无法继续拉晶,如何开发高强度的坩埚,使坩埚不易发生鼓包,是石英坩埚面临的普遍问题。
3、应用于拉制重掺硅单晶的高纯石英坩埚的制备技术:重掺硅单晶拉晶易断线,导致单产不高,如何开发与重掺杂拉晶相匹配的坩埚,需要在原理及上下游持续实验研究。
4、石英坩埚R角气泡带的生成原理及改善方法研究:石英坩埚熔融过程R角气泡带的形成机理研究;在坩埚熔制过程中如果出现气泡带,导致坩埚报废造成良品率不高具有气泡带的坩埚是否导致在拉晶后期导致拉晶易断线。
Copyright © 2018 宁夏回族自治区生产力促进中心 版权所有 宁ICP备11000235号-3 宁公网安备 64010402000776号