高性能脉冲压缩光栅和合束光栅研发及应用

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：中国科学技术大学

联系人：-

联系方式：0951-6087161 /5020588

所在地：

成果简介

光栅尺寸在国际上居于领先地位，最大达到了1400mm，远超对手的940mm；研制了一系列国内首台(套)具有自主知识产权的米量级光栅研制工艺关键设备；在国际上*了曝光拼接方法，实现了利用小口径曝光系统，制作出了远大于曝光系统口径的光栅；掌握了脉冲压缩光栅设计、工艺容差分析和工艺过程控制技术，通过对曝光监测、显影监测和刻蚀监测来保证光栅制作工艺的稳定性，保证了光栅制作质量；首次对大口径高阈值光栅采用了综合清洗技术处理，提高了光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值。

其他成果推荐

更多>

单环路轮系传动系统的动态机理与故障模式识别的研究

所属单位：国家技术转移西北中心

超材料隐身测试紧缩场系统

所属单位：西安瀚博电子科技有限公司

大气压冷等离子体射流放电特性评估软件

所属单位：西安冷电康科技有限公司

水下蓝绿光通信装备

所属单位：中国科学院西安光学精密机械研究所

一种气泡装弹装置

所属单位：西安昊天航空科技有限公司

程控专用小交换机组装线和组装方法

所属单位：陕西智康盛达信息技术有限公司