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高温多靶磁控溅射及功能涂层

所属分类:先进装备制造产业

所属单位:广东省科学院

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

技术介绍:针对多领域、多应用对功能涂层/薄膜材料需求,开发金属、金属氧化物及氮化物等涂层/薄膜材料的磁控溅射工艺,尤其可实现高真空三靶共溅射,沉积温度25~800℃可控,已开发出TiAlCrSi-X系列高温抗氧化、耐磨、耐腐合金涂层、生物友好型Ti基涂层、Ga2O3薄膜及纳米线等新材料。
达到的技术指标:膜厚均匀性≤5%(除去边缘5mm),沉积温度可达800℃,可原位加热退火。

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