机器人数控轮式抛光系统

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：中国科学院西安光学精密机械研究所

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联系方式：0951-6087161 /5020588

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成果简介

先进光学元件试制中心经过多年技术攻关，研制出基于工业机器人的高效高精度轮式抛光技术。该技术以工业机器人为运动载体，使设备成本低、可靠性高、灵活性好；以柔性轮式抛光头为工具，使贴合性好、去除函数稳定、面形误差收敛快。该技术具有成本低、精度高、效率高的优点，获得同行的一致好评，将在超精密光学制造领域得到广泛应用。
加工口径：φ2000mm
面形精度：非球面RMS-0.005λ
粗糙度：Sq 1nm

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