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成果
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MEMS压力传感技术

所属分类:新型材料产业

所属单位:南京大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161 /5020588

所在地:

成果简介

团队针对传统电学压力传感器封装体积大、测量范围小、精度不足、易受电磁干扰和耐极端环境差等缺点,发展了基于激光测量技术的高精度光学MEMS压力传感器和高性能解调设备。该成果全面对齐国外FISO、OPSENSE同类产品,并在关键性能指标上实现超越。相关技术与成果已发表多篇论文,申请多项国家发明专利并授权,获得“江苏省科技进步一等奖”、创青春光电子信息类铜奖等荣誉。

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