扫描数字剪切散斑干涉仪

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：西北工业大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

扫描数字剪切散斑干涉仪利用激光散斑剪切干涉和线阵D扫描原理，将激光束扩束后照射在具有光学粗糙的物体表面，并以线阵CCD扫描记录待测物体表面变形前后的剪切散像，进而利用数字图像处理技术，获得反映物体表面形变的数字剪切散班干涉图样，由该图样可以获得物体表面形变信息或相关区域的缺陷特征，实现无损检测目的。基于特殊设计的微位移移动轨道和CCD 扫描技术的应用，以及剪切镜的灵活设计，可以有效增大测量视场并提高缺陷检测灵敏度。
该技术达到国际先进水平，获实用新型专利4项。

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