感应加热直拉法生长单晶的称量装置及单晶炉

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：北方民族大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

一种感应加热直拉法生长单晶的称量装置，包括第一称量传感器、第二称量传感器、第一连接件、第二连接件、称量处理器，第一称量传感器、第二称量传感器结构相同，第一连接件、第二连接件均采用刚性材料，第一连接件、第二连接件相对平行位移，以使第一称量传感器、第二称量传感器同步形变，第一称量传感器、第二称量传感器的信号发送至称量处理器进行合成处理，并显示，本技术方案的有益效果在于，采用并联设置的两个称量传感器来实时监测单晶的重量，两个称量传感器的输出端和输入端分别并联后与称量处理器连接，使得感应加热直拉法生长单晶的称量装置的测量精度提高了一倍，而成本仅增加了一个低价称量传感器。

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