该发明涉及一种制备球形纳米单晶石英颗粒的方法，主要解决现有的石英制备过程中含杂质、颗粒团聚、形状不规则和成本较高的的缺点。制备球形纳米单晶石英颗粒的方法，包括以下步骤：(1)混合；(2)搅拌条件下进行水热反应；(3)离心沉降；(4)水洗；(5)干燥；(6)收集包装，得到单分散球形纳米单晶石英颗粒的技术方案，较好的解决了该问题，该球形纳米石英颗粒可以用于超大规模集成电路封装材料及半导体行业、精密阀门、硬磁盘、磁头的表面抛光处理等。随着微电子工业的迅猛发展，中国已成为世界的封装大国。超大规模集成电路对封装材料的要求也越来越高,现在国内使用的球形粉主要是天然原料制成的进口粉。在电子产品方面，对结晶型硅微粉的需求，预计年需求量将超过70万吨；在熔融石英陶瓷方面，国内对硅微粉的年需求量将达万吨，市场前景广阔。普通300目硅微粉只有600元/吨，而8000、10000目超细高纯电子类适用微粉价格高达100000元/吨，如果再升级至纳米级微细粉吨价更高达200000元/吨以上,有着巨大的经济效益。