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超净高纯湿电子化学品制备关键技术

所属分类:新型材料产业

所属单位:福州大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161 /5020588

所在地:

成果简介

湿电子化学品又称超净高纯电子化学品,属于电子化学品领域分支,是微电子、光电子湿法工艺制程(主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节)中使用的各种液体化工材料,是电子信息行业中的关键性基础化工材料。湿电子化学品行业上游为基础化工行业,以大宗化工商品为原料;下游为电子信息行业,主要应用领域为集成电路、显示面板及太阳能光伏等。湿电子化学品行业处于电子信息产业链上游的关键位置,对电子信息产业的发展起着重要作用。然而,目前我国仅能生产G4级以下标准的湿电子化学品产品,规模生产符合G4级及以上标准的湿电子化学品仍存在卡脖子问题。因此,亟需开发G4级及以上标准的湿电子化学品核心生产技术,保障国家电子信息产业供应链安全。
本项目开发了适用于超痕量金属离子脱除的吸附剂,形成了具有自主知识产权的G4级N-甲基吡咯烷酮(NMP)、异丙醇(IPA)、N,N-二甲基丙酰胺(DMPA)、丙二醇单甲醚醋酸酯(PMA)、乙二醇(EG)等湿电子化学品金属离子分离提纯技术。

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