一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：西安交通大学

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成果简介

一种大量程压阻式高频响固定式四分量铣削力传感器，传感器为一个整体结构零件，传感器采用支撑梁加变形梁的复合结构设计，传感器包括载物平台、竖直变形梁、水平变形梁、固定底座四部分，载物平台通过竖直变形梁和水平变形梁连接在固定底座上，竖直变形梁共四个，水平变形梁共四组，在竖直变形梁竖直贴装第一压阻式MEMS硅微力敏芯片，在水平变形梁水平贴装第二压阻式MEMS硅微力敏芯片，本发明可以实现对铣台所受包括水平X、Y向，竖直Z向三向力的测量以及主轴扭矩的检测，不仅可以测量动态力，也适用于静态力的测量，在使用和维护方面更加简单可靠，降低成本。

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