先进原子级薄膜精准沉积装备

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：清源创新实验室

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联系方式：0951-6087161 /5020588

所在地：

成果简介

先进原子层沉积（ALD）技术可在物体表面精准生长原子级薄膜，在半导体、 *、新能源等领域具有战略意义。全球 ALD 装备市场规模超 78 亿美元，年增速 17%，张福蓊博士（福建省引才百人计划特聘专家）团队突破传统 ALD 设备依赖真空环境、沉积速率低等瓶颈，*常压高精度原子级薄膜可控生长工艺，自主研发出两大核心装备：间歇型"清原一号"采用模块化设计，支持克级至公斤级粉末材料非真空沉积；连续型"进原一号"*空间动态式设计，有望实现国内首台粉末连续化 ALD 沉积装备量产。相关成果获全国博士后创业创新大赛优胜奖，团队系全省 5 支获奖队伍中唯一科研机构代表，获福建省人社厅专项表彰。

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