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基于MEMS技术的传感器及数据记录仪--XJG8高频响压力传感器

所属分类:先进装备制造产业

所属单位:西安交通大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

XJG8高频响压力传感器利用微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小,因而固有频率高;利用硅优良的弹性力学特性,加之低的电桥内阻抗,从而不仅利于获得高频响,低至零频高至接近固有频率的宽频带响应,而且有低至亚微秒的上升时间及非常平滑的幅频特性曲线。综合性能优于压电动态压力传感器,动态频率响应极高(最高可达到1MHz)。

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