一种铌酸锂陶瓷溅射靶材及其制备方法、应用

所属分类：新型材料产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本申请涉及一种铌酸锂陶瓷溅射靶材及其制备方法、应用，包括以下步骤：球磨化学计量比铌酸锂原粉；取还原金属粉和铌酸锂粉体A混合均匀，放入真空气氛炉中处理，然后依次经过酸液酸洗、清洗液清洗，抽滤干燥后得到铌酸锂粉体B；将铌酸锂粉体B放入放电等离子烧结炉中烧结，得到相对密度为93.4%至98.1%的铌酸锂陶瓷溅射靶材。采用化学计量比铌酸锂粉体预处理加放电等离子烧结技术制备铌酸锂陶瓷溅射靶材，通过对铌酸锂粉体A缺陷化处理，提高铌酸锂粉体B中的氧空位浓度，能够制备得到致密度高以及纯度高的铌酸锂陶瓷溅射靶材，相对密度高，避免在制备铌酸锂陶瓷溅射靶材的过程中加入聚乙烯醇，从而解决现有技术中的相关问题。

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