大尺寸碳化硅衬底抛光液

所属分类：新型材料产业

所属单位：河北工业大学

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联系方式：0951-6087161 /5020588

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成果简介

SiC粗抛液:适用于SiC衬底的粗抛光。特选粒径均一的Al2O3为磨料,抛光清洗后晶圆表面粗糙度低、划伤少,颗粒残留少。客户在使用过程中通过优化抛光工艺,均能达到最佳研磨效果。具有去除速率高(5um/h以上)、易清洗等特点。
SiC精抛液:适用于SiC衬底的精抛光。SiC精抛液是以A+B液的形式提供给客户,硅溶胶为磨料。抛光清洗后表面粗糙度能够满足6-8吋SiC晶圆表面的要求,具有去除速率高(1um/h以上)、易清洗的特点。

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