超稳高精微机械惯性测量阵列及应用

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：西北工业大学

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成果简介

微机械惯性传感器是基于物体惯性来测量载体角速度和线加速度的微型传感器。其在硅片上大批量制造，具有体积小、重量轻、成本低等优点，已在消费电子、汽车电子等领域大量应用，年销量超百亿支。然而，受限于微米级尺寸，其惯性质量极小，导致其精度、稳定性两项关键指标还不如光学、液浮等其他类型的惯性器件。如何提高微机械惯性传感器的精度和稳定性已成为行业的共性关键难题。本项目围绕超稳定性和高精度两个关键核心指标，揭示了弱耦合谐振器提高灵敏度机制；发明了阵列式差分抗干扰方法，提升惯性测量阵列环境抗干扰能力1个数量级，大幅提升了微机械惯性测量单元的环境抗干扰能力以及在震颤环境中保持高精度输出的能力。

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