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基于MEMS技术的传感器及数据记录仪--XJE2高温高压充油压力芯体

所属分类:先进装备制造产业

所属单位:西安交通大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

XJE2 高温高压系列充油压力芯体采用高精度、高稳定性微压力敏芯片或S0I压力力敏芯片作为弹性敏感单元,通过(高温)充硅油工艺和(高温)精密补偿工艺,可实现(高温下)0~60MPa…~200MPa的压力测量。将XJE系列充油压力传感器芯体装入具有标准和特定螺纹的压力接口中,可制作出结构型式多样的压力传感器,并与标准信号处理电路配合,可将压力信号转换成多种工业标准电信号输出

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