氧化物气体传感器具有成本低、环境适应性好、寿命长、响应恢复快、易规模化制造以及易微型化与集成化等优点,因此相关行业正尝试利用改 进型的氧化物传感器实现高灵敏度气体传感,以便在低浓度气体传感领域,降低传感器的价格、改善其环境适应性、延长其使用寿命并拓展其应用范围。超声辅助型氧化物气体传感器利用超声分子操控技术大幅度提高氧化物气体传感器的敏感度。样机测试表明:与传统的氧化物气体传感器相比,超声辅助型氧化物气体传感器的敏感度一般要高一个数量级。本技术提供了一种低成本的提升氧化物气体传感器灵敏度并大幅度降低其检测下限的有效方法。