一、成果简介
高灵敏度磁传感器集磁功能薄膜材料技术、纳米技术与半导体集成技术于一身。由于其对磁场、温度、电压电流、应力应变、压力等的变化敏感,可用于非接触式位置测量、加速度测量、角度测量、速度测量、电流测量、应力应变测量、压力测量以及生物芯片等。
二、创新点其初级产品为高灵敏度磁传感器芯片,目标产品为各类高灵敏度车用传感器、电子罗盘、磁编码器、磁栅尺、电流检测、接近开关、无损检测及各种弱磁检测器件等。具有功耗小、可靠性高、体积小、能工作于恶劣环境等现有传统传感器所不能相比的优点,而且在制造成本上,高灵敏度磁传感器并不高于其它普通传感器,甚至大大低于某些传感器。三、知识产权及获奖
1、国家自然科学基金项目;
2、获国家专利 2 项。
四、应用领城及市场前景
广泛应用于工业、医疗等各个领域。