电子信息产业用稀贵金属溅射靶材项目

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：贵研铂业股份有限公司

联系人：-

联系方式：0951-6087161/5020588

所在地：

成果简介

近年来突破了“半导体器件中势垒层用镍铂靶制备技术”“半导体器件中导电层用贵金属单质靶制备技术”、“半导体器件中扩散阻挡层用镍钒及钛钨靶制备技术”、“机械硬盘中晶籽层用钌靶制备技术”、“靶材内部缺陷和焊接质量的评价体系”等关键技术。打通了从粉末制备、坯料成型、机加工、绑定、无损检测及回收提纯再利用的一站式靶材批量化生产工艺。产品广泛应用于半导体、信息存储、新能源汽车、光伏太阳能电池等领域。

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