高端装备精密直线电机系统

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：哈尔滨工业大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

研究精密直线电机系统，攻克电机精细化设计、推力调控驱动、运动控制策略等关键技术，适用于光刻机、高档数控机床等。攻克了精密直线电机系统中电机精细化设计、高品质推力调控驱动、强抗扰高精度运动控制策略等关键技术，取得了系列原创性成果，研制出高端装备精密直线电机系统。研制长行程宏动直线电机最大峰值推力>1350N、定位力<1%、表面温升<0.5℃，最大加速度>4g，最大速度>2m/s，短行程微动直线电机推力规格分布为15N至430N，表面温度控制在22±1℃，定位精度1.3μm、重复定位精度1.13μm。

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