智碳铠膜-国之重器守护者

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：安徽工业大学材料科学与工程学院现代表界面工程研究中心

联系人：-

联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

（1）掌握了磁场热力场等多场模拟仿真技术，磁过滤电弧阴极、磁控溅射阴极、离子源等核心部件研制方法，先后开发了多款核心部件，技术指标比肩国际一流企业英国Gencoa公司产品。
（2）基于模块化、标准化、专业化镀膜装备制造思路，开发了非平衡磁控溅射、过滤脉冲电弧两型高端碳基薄膜专用镀膜机并实现了销售，整体水平比肩国际一流企业荷兰Hauzer公司。
（3）针对对碳基薄膜的迫切需求，开发了三类可在超滑到超硬进行智能调控的碳基薄膜工艺，并在天基互联网卫星、空间站、天舟货运飞船、柴油发动机、压铸模具等领域得到验证应用。

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