在国家自然科学基金、江苏省自然科学基金的多年持续资助下，开展了硅、锗等半导体材料的电火花多线切割研究，提出了往复渐进式自适应进给控制方法，在轨迹重叠反向插补、多电极运丝机构设计、模糊自适应控制、多电极丝同步均衡放电控制等方面取得了技术突破,开发了专用伺服控制系统，组建了高性能电火花线切割运动控制实验平台，并成功研制了一台国内*的并行放电多电极电火花线切剂机床，取得了加工效率随电极丝数量增加而倍增的效果。主要技术指标电极丝间距< 600ym，并行电极丝数量>3，总厚度偏差<50um。知识产权拥有相关授权发明专利 2项。应用领城及市场前景用于太阳能或集成电路制造的硅锭等半导体材料的批量切割，具有切损小、成本低、效率高、翘曲小、绿色环保等优点，市场需求巨大。由于半导体材料切制成本占到太阳能电池板总的制造成本的2/3 之多，因此经济效益十分显著。
微信公众号