电子级区熔用多晶硅制备技术

所属分类：新型材料产业

所属单位：陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司

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联系方式：0951-6087161 /5020588

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成果简介

电子级区熔用多晶硅的制备主要是研究硅烷在固定床反应器中具备一定条件时进行热分解反应并生成区熔用多晶硅的技术，该方法生产的区熔用多晶硅主要优点是分解温度低，沉积速度快，产品纯度相对较高，产品致密性好。公司2021年开始将区熔用多晶硅产品导入市场，区熔用多晶硅产品在下游客户中均得到一致好评，目前已进入商业化运行模式。在电子级区熔用多晶硅制备技术方面，天瑞公司共获得发明专利1项，实用新型专利7项。公司参与电子级区熔用多晶硅制备的主要人员有10名，其中高级工程师1名，中级工程师5名，助理工程师4名，其中1名中级工程师曾在国外学习区熔用多晶硅制备技术1年。

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