本发明提供一种线切冷却液回收方法,步骤包括:将废冷却液中的硅粉分离,获得含有硅粉的复合物和脱硅冷却液;再分别对所述复合物和所述脱硅冷却液进行处理,获得硅粉泥和再生冷却液。本发明尤其适用于超薄硅单晶金刚线切片用冷却液的大通量再生处理和超细硅粉的高收率回收,可获得高品质再生冷却液和高纯度超细硅粉泥,不仅处理量大,回收效果好,而且可持续且高效低对获得的再生冷却液、超细硅粉泥以及吸附材料进行循环再利用,整体运行成本低,仅为现有技术方法的1/4‑1/5;整体硅粉的回收率达84%以上,且获得的再生冷却液的导电率为17.7‑19.4μS/cm,表面张力为31.8‑33.1mN/m。