一种SiC板超声电解复合磨削方法

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：大连理工大学

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成果简介

本发明属于机械制造技术领域，公开了一种SiC板超声电解复合磨削方法，该磨削方法包括粗磨和精磨两个步骤，通过研制新型软砂轮，结合超声电解的复合磨削方式，代替传统的磨削工艺，实现SiC板表面的高效超低损伤超精密加工。所述的软砂轮磨削部分由磨料、填充料和结合剂通过固化成型制造而成，其中，磨粒体积占比为25?40％，填充料体积占比为10?20％，其余为结合剂。与传统的磨削方法相比，本发明可实现SiC板的高效、超低损伤加工，可有效降低SiC板在磨削过程中的碎片率，提高成品率。

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