研发团队采用柔性铰链机构与压电叠堆相结合,设计了开发铰链式压电粘滑驱动器,将控制单元和检测单元与驱动器集成研发压电位移台,形成了铰链式压电粘滑驱动器的驱动理论,掌握了压电粘位移台的设计方法,研制开发出不同原理和结构的 20余台(套)压电驱动器样机。样机技术指标:平台运动行程大于10mm,定位精度小于 50nm。
该压电位移台具有结构紧凑、行程大、精度高、输出速度快、推力大、负载能力强等优点,技术指标达到国际先进水平。项涉及的核心技术完全拥有自主知识产权,并获国家专利授权,可实现压电位移台的工程化与产业化。