一种改进的多功能离子枪离子源结构

所属分类：新型材料产业

所属单位：兰州大学

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成果简介

本实用新型公开了一种改进的多功能离子枪离子源结构，涉及表面科学应用技术、超高真空技术以及离子束技术领域，所述离子源结构包括法兰、第一连接杆、陶瓷管、第二连接杆、绝缘陶瓷、电离室，所述第一连接杆与第二连接杆位于法兰和绝缘陶瓷之间，所述陶瓷管位于法兰和绝缘陶瓷之间，所述电离室与绝缘陶瓷外侧安装；通过设置连接杆将法兰和电离室隔开一定的距离，如此设计保证在接高压时不发生打火现象，保证引出高压的稳定的目的；通过陶瓷管道将气体通入电离室，为保证陶瓷管道与法兰和绝缘陶瓷之间接触密封性，采用真空密封胶进行密封，保证输入电离室的气体量以及其气压的稳定性。

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