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利用梯度保温提高合金法提纯多晶硅收率的方法

所属分类:新型材料产业

所属单位:宁夏大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

利用梯度保温提高合金法提纯多晶硅收率的方法包括:将铝硅原料按照Al‑50wt%Si进行配比作为提纯原料;通入氩气和氢气的混合气体,氩气与氢气的体积比为100 : 4,按照7℃/min的速度提高反应炉的温度,直至反应炉中的温度升高至1450℃,并按照预定速度通入步骤S002中氩气和氢气的混合气体,以使反应炉维持惰性的气体环境;提纯原料在1450℃的条件下保温2h,然后按照3℃/min的速度降温至1300℃;提纯原料在1300℃的条件下保温2h,然后按照3℃/min的速度降温至900℃;提纯原料在900℃的条件下保温2h,然后按照3℃/min的速度降温至600℃,自然冷却至室温。

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