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高性能微机电系统(MEMS)超级电容器

所属分类:新型材料产业

所属单位:太原理工大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

MEMS 超级电容器将微机电系统(MEMS)加工工艺与超级电容器技术相结合,在结构制备上和微电子工艺兼容,能够实现器件的微型化、集成化、智能化和批量化生产。该系列 MEMS 超级电容器具有功率密度大,制备简易,成本低的有点。MEMS 超级电容器采用新型的电极制备技术,并进行电解质以及结构优化,有效提高了器件的能量密度,功率密度和可靠性。

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