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大型超精密隔微振技术

所属分类:先进装备制造产业

所属单位:哈尔滨工业大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

针对光刻机、电镜等高端超精密仪器装备、大型科学实验系统中环境微振动干扰问题,突破被动式气浮/磁浮阵列、主动负刚度与主动阻尼等创新方法,系统掌握大型精密气/磁隔微振技术,实现超大、超重、超精密隔微振性能的兼顾。形成系列大型精密隔微振器、大型/超大型精密隔微振平台、嵌入式隔微振器产品,成功研制浮起重量1500吨的超大型超精密气浮隔振平台,用于航天关键应用,发挥了重要作用。

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