一种无热处理的磁控溅射制备钙钛矿铁电薄膜的方法

所属分类：新型材料产业

所属单位：兰州大学

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成果简介

本发明提供了一种无热处理的磁控溅射制备钙钛矿铁电薄膜的方法，其工艺为：用溶胶凝胶法制备BZT‑BCT的凝胶，将凝胶在600‑800℃下煅烧得到前驱物粉体，将前驱物粉体与聚乙烯醇溶液混合后造粒、压靶、排胶、在800‑1000℃烧结6小时制得磁控溅射所需靶材。本发明通过单靶磁控溅射的方法在不加热的Si基底上生长了结晶性非常好的复合钙钛矿铁电多晶薄膜，为铁电薄膜的生长提供了一种工艺简单，低能耗，生长条件宽泛的生长方法。

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