大尺寸超高导热金刚石单晶制备技术

所属分类：新型材料产业

所属单位：哈尔滨工业大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

团队围绕节能减排、智能制造、高频通信等国家重大战略对超高导热材料提出的迫切需求，完成了新模式微波CVD研制、低缺陷高导热金刚石生长、器件兼容金刚石增强导热应用验证等内容，发明了氧化物介质层调控界面载流子输运技术，抑制载流子界面复合，获得了高开路电压（1.7V）、抗辐照、长寿命金刚石同位素电池。
该技术可广泛应用于金刚石材料生长制备，用于下一代半导体衬底研发、半导体散热、高能激光/微波窗口等领域。相关研究成果成功应用于中国电科集团GaN器件、华为相关散热应用等。

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