蓝宝石（Al2O3）衬底是LED芯片的重要材料。衬底制作同外延生长和芯片制造同属LED产业链的上游环节，具有技术和资本密集的特点，是整个LED产业发展的关键，同时利润率也较高。目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶（GaN）的材料品质，而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石衬底表面加工品质息息相关。蓝宝石衬底是由蓝宝石晶棒经切片-研磨-抛光等多道工序加工而成，对其厚度的在线测量是实现其工艺优化与质量控制的重要关键。
本产品采用最新研发的光学相干测厚技术，利用宽带光的低相干干涉特性结合高精度的谱分析理论，实现蓝宝石衬底的在线、非接触测量。探头出射的近红外光束穿透至衬底内部后返回主系统与参考光发生干涉。蓝宝石衬底的表层与内层界面信息被精确调制在光谱空间上，自提出的核心关键的谱分析理论能精确的将衬底的空间信息解调出来。本产品能实现蓝宝石衬底非接触、高精度、快速、无基准的厚度与表面形貌测量，测量精度可达0.5μm，重复精度1μm。对比现有的离线、接触式测量产品，本产品的在线、实时、非接触性能带来了质的飞跃。