一种真空靶站系统_宁夏技术市场

一种真空靶站系统

所属分类：新型材料产业

所属单位：兰州大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

本发明公开了一种真空靶站系统，具体涉及辐照真空靶站设备技术领域。该真空靶站系统包括靶结构、冷却系统、传动系统、真空结构和支座及调节系统；靶结构包括靶面结构和靶基结构，二者组成封闭空间；真空结构包括真空泵、准直器和真空腔，准直器安装于真空腔内，用于调节束流的大小和范围，真空泵用于真空腔的抽真空，靶面结构位于真空腔的前端，与真空腔组成封闭的真空空间；冷却系统与靶基结构连接组成闭环冷却系统，完成对靶面结构的循环冷却；传动系统与靶基结构连接用于装卸靶结构，更换靶面结构；束流进入抽真空的真空腔中，轰击到靶面结构上，完成生产后，使用真空泵释放压力。

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