微机电系统(MEMS)具有体积小、重量轻、成本低、可靠度高等特点，在航空、汽车、消费电子等领域具有广阔应用价值。MEMS 设计过程复杂，高效的设计工具现已成为制约我国MEMS 产业发展的关键。设计工具分为系统级、器件级、工艺级三个设计层级，并具有三个层级之间的全部数据传递接口，支持不同工程背景的设计者任意入口，任意流程的设计，该设计工具满足大多数机电耦合类MEMS器件的设计和仿真。相关成果获发明专利11项，并获国家技术发明二等奖。效益分析:使用本系统能使MEMS器件，一方面提高MEMS设计者的设计能力，实现了传统设计方法无法完成的复杂MEMS结构集成设计，另一方面设计开发效率提高3-5倍，可产生直接经济效益。投资规模:本项目为软件工具，成本主要包括技术成本、开发成本、售后服务及升级等。单套软件成本约 20-40万元，视具体需求及技术要求不同。
微信公众号