本成果主要依托陕西省重点研发项目《基于MEMS滤波芯片的微小型光谱成像载荷关键技术研究》（项目编号：2020ZDLGY01-03）。为解决传统光谱成像系统及其分光元件体积大、空间分辨率低和定制化能力不足等缺陷，满足未来光谱成像探测平台无人化、小型化和智能化的发展需求，以*微小型光谱成像载荷为研究对象，主要开展大孔径电磁驱动可见光MEMS可调珐珀滤波芯片的开发，并以其为核心构建微小型光谱成像载荷，实现无人机平台搭载应用，以及机载光谱成像功能和目标光谱信息获取。提出了大孔径宽幅调制滤波芯片的低温低应力圆片级加工工艺，首次实现了6mm大孔径可见光滤波芯片的硅基圆片级加工制造；提出了微小型光谱成像系统的模块化构建方法，实现了微小型动态光谱成像系统的构建与高分辨光谱成像验证。项目实施过程中，产生的相关16篇论文成果发表在Optics Express、Optics Letters、Information Fusion、IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement、光学学报等中英文期刊上，并申请发明专利5件，其中授权2件。项目所实现的微小型光谱成像系统的成果在食品安全、环境监测、农林业、防伪识别等领域具有广阔的应用前景。项目实施过程中发挥团队成员优势，在各自研究方面各尽所能，最终实现项目的顺利和保质保量完成。