微小孔的等离子体放电加工装置及加工方法

所属分类：先进装备制造产业

所属单位：哈尔滨工业大学

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成果简介

本发明涉及一种微小孔的等离子体放电加工装置及加工方法，属于机械制造技术领域。本发明为解决现有微小孔加工方法难以完全避免表层/亚表层损伤，以及现有等离子体无损加工装置不适用于微小孔的超精密高效加工等问题。通过导向器将小直径线状电极固定于待加工孔中心，在电极与孔壁间的间隙内形成等离子体放电空间，射频电源通过阻抗匹配器与电极连接，工作气体通过对应的质量流量控制器控制流量后通入气室，接地夹套设置于工作台内并接地。方法：工件安放并接地，定位电极;通入气体，并调节流量;输入并调节功率;控制运动轨迹和驻留时间;关闭电源和气体;取出工件。本发明适用于微小孔的等离子体放电加工。

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