一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法

所属分类：现代化工产业

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成果简介

氯代乙硅烷，尤其是六氯乙硅烷是重要的电子材料。本发明意在提供一种利用多晶硅副产高沸物料制备氯代乙硅烷（六氯乙硅烷）的方法，该方法通过下述技术手段实现：冷冻结晶和络合蒸馏。其中冷冻结晶在-5到-50度情况下使金属氯化物结晶析出，此步骤能达到70%左右的去除率。经过冷冻结晶得到的产品中还含有ppm级别的金属杂质，这部分杂质再使用络合蒸馏的方式进行去除。络合蒸馏采用特定的络合剂与金属氯化物形成稳定的不挥发的络合物，络合蒸馏可实现90%左右的去除率。通过上述的方法使氯代乙硅烷与金属氯化物等杂质实现高效分离，金属氯化物的总去除率可达到97%以上，最终得到纯净的氯代乙硅烷产品。

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