在工件表面制备具有规则几何造型的微观形貌，即依照阵列排布的微坑或微凸起结构，可显著改善其摩擦性能，延长使用寿命,减少能耗，对提高机械零件摩副性能有明显工程价值，对于节约能源保护环境有着重要的现实意义。采用微细特种加工技术制作微凸起、微坑阵列表面结构，是基于微凸起和微坑的对应几何关系，如采用形状各异的阵列凸电极，依据反拷贝原理以电火花成形加工微坑阵列;或将电极与工件形状的凹凸关系反置，即可在工件型面上直接形成微凸起结构阵列。目前已实现的微凸起、微坑结构，单体尺度为长x宽(或直径)150umx150pm或更小，高度(或深度)30um。形状可为正方形(体)、矩形、形、圆形、锥形、台形等;微结构在某些非金属材料表面也可成形。
特种加工工艺制备微坑或微凸起结构，不受工件材料力学性能、热处理状态限制，形状、尺寸能够精确控制，对于新结构表面技术与材料科学相结合所需要的表面微观结构，是非常重要的有效成形手段。
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