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一种制备单晶镍铁氧体薄膜的方法

所属分类:新型材料产业

所属单位:兰州大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

本发明公开了一种制备单晶镍铁氧体薄膜的方法,包括以下步骤:在室温下,采用镍铁氧体靶材,在单晶基片上通过磁控溅射,制备得到单晶镍铁氧体薄膜。本发明在室温下通过磁控溅射法可以制备得到单晶镍铁氧体薄膜,无需在溅射过程中对基片进行加热或是后续进行热处理,操作简单,可重复性高,应用前景广阔。

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